小型CVD設(shè)備
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產(chǎn)品名稱(chēng):
小型CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):
SFCV-1501
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
PHIL佐藤 小型CVD設(shè)備 SFCV-1501
小型CVD設(shè)備
的詳細(xì)介紹
PHIL佐藤 小型CVD設(shè)備 SFCV-1501
管式爐型高溫?zé)峄瘜W(xué)氣相沉積系統(tǒng)，適用于大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)開(kāi)發(fā)石墨烯等各種碳?xì)浠衔锊牧稀?該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了小型化，因此可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作生產(chǎn)小批量和小尺寸試件，同時(shí)還能顯著降低成本。
此外，該系統(tǒng)還配備了 5-100 Pa 的壓力控制功能，這在以往的小型系統(tǒng)中是很難實(shí)現(xiàn)的，從而使其能夠用于更多的加工模式。 該系統(tǒng)還配備了針對(duì)易燃碳?xì)浠衔餁怏w的**裝置，如用于關(guān)閉設(shè)備的報(bào)警檢測(cè)系統(tǒng)和用于稀釋釋放到大氣中的氣體的氣體稀釋裝置。
主仕様
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爐芯管
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透明石英管（加熱溫度100～1000℃）
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氧化鋁管（加熱溫度1000～1400℃）
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反応ガス供給
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2 - 60 sccm（氫氣、甲烷、乙烷、乙烯、乙炔、苯等）
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壓力控制
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5～100Pa
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可燃性ガス大気放出対策
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通過(guò)噴射器將空氣稀釋并排放到可燃混合范圍以下。
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機(jī)器構(gòu)成
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型式
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SFCV-1001
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SFCV-1003
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SFCV-1501
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管狀爐
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爐芯管
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材質(zhì)
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透明石英管
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アルミナ管
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內(nèi)徑
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φ24mm、φ50mm
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φ24mm
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加熱溫度
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常用
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100～1000℃
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500～1400℃
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Max
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1150℃
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1500℃
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加熱域
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1 區(qū)
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3 區(qū)
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1 區(qū)
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加熱器功率
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1.0kW
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2.4kW
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1.2kW
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真空排気
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油旋式真空泵
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排気速度：100～150L/min
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氣體供應(yīng)
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質(zhì)量流量控制器
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流量：10～100sccm
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氣體管式流量計(jì)
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氣體稀釋
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空氣噴射器
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空氣流量：15Nl/min
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真空計(jì)
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圧力制御
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電容壓力計(jì)：0.133 至 1330 帕，100 帕至 133 千帕
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大気復(fù)圧
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數(shù)字耦合計(jì)：-100kPa～+100kPa
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制御
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溫度制御
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程序控制
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圧力制御
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閥門(mén)開(kāi)/關(guān)控制
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操作パネル
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每個(gè)設(shè)備的開(kāi)關(guān)、程序溫度控制器、真空計(jì)
指示器：溫度、真空、操作設(shè)備開(kāi)/關(guān)、警報(bào)、電源
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電源
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単相
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100V?30A
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100V?50A
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200V?20A
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外形寸法
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Ｗ×Ｄ×Ｈ
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1450×500×1200mm
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質(zhì)量
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125kg
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134kg
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128kg
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